多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，多晶硅材料是光伏產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。在生產(chǎn)中，還原爐每運行一個周期，其內(nèi)表面都會殘留無定形硅，同時含有氯硅烷水解物及其他粉塵雜質(zhì)。因此每運行一個周期需要采用清洗液，并根據(jù)殘留物分布情況對還原爐基盤和鐘罩分別采用特定的清理工藝進行處理。還原工藝是多晶硅生產(chǎn)的關(guān)鍵工藝，其工藝條件和參數(shù)控制好壞直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。

 

 

多晶硅在整個生產(chǎn)過程中，對產(chǎn)品質(zhì)量的控制要求很高，對還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度要求特別關(guān)鍵，任何顆粒性雜質(zhì)、油脂等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會對產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。北京德高潔清潔設(shè)備有限公司經(jīng)過研發(fā)設(shè)計并制造出了多晶硅自動化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)，可以完全將多晶硅還原爐鐘罩清洗干凈，滿足生產(chǎn)需求。

 

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅(qū)動三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之后再采用高純水沖洗，最終完成清洗過程。

 

目前國內(nèi)多晶硅鐘罩清洗方主要有高壓清洗、化學(xué)溶劑低壓清洗、機械拋光等清洗方法，但德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)更具特點：

 

 

1、核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不銹鋼的加壓泵，清洗作業(yè)時三維旋轉(zhuǎn)噴頭可實現(xiàn)自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、自動升降、全方位自動清洗，并可保證多晶硅的純度；

 

2、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱，從而改變原電加熱工藝；

 

3、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的廠家蒸汽余熱，設(shè)置10萬級空氣凈化換熱裝置代替原氮氣電加熱干燥還原爐體工藝；

 

4、北京德高潔清潔設(shè)備有限公司自行研發(fā)設(shè)計的自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)升降噴射機構(gòu)可適應(yīng)各規(guī)格的還原爐體；

 

5、由于清洗過程中會有氫氣和酸性物質(zhì)產(chǎn)生，所以必須解決二次污染問題。我公司自行設(shè)計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染；

 

6、設(shè)計出高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，并進行凈化使后序清洗水用于前序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。

 

還原爐沉積多晶硅是間歇操作，一個運行周期結(jié)束后需要打開鐘罩收割硅棒，然后進行基盤清理，再裝硅芯進行下一個周期的化學(xué)氣相沉積。北京德高潔清潔設(shè)備有限公司研發(fā)生產(chǎn)的多晶硅自動化還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)有效解決了生產(chǎn)中的實際問題，方便、快捷、處理效果好，目前已成為多晶硅還原爐鐘罩清潔的首選。